广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵
安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时(参见文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍),还拥有诸多全新的特点(参见文章:新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪?),此外,TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究,可以针对性的提供服务。
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高真空涡轮分子泵是什么?
涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。
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与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到一定的曲面上(3D),达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
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安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,其预置了 6 个不同的应用设置,通过简择,即可在不同应用间切换,对于大多数常见应用(喷氦、分流、背压法自动检漏等),直接选择相应的应用即可。另外,根据每个应用的特点,检漏仪在出厂时已经预置好了一些设置,并且每个应用可存储 3 组报警值,用户可以根据不同的产品修改报警值并分别保存。
安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个好的大漏粗测模式,该模式采用的不是质谱偏转原理,因此不需要很好的真空,可以在高达 2 万帕的压力下检漏,这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。
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从上世纪60年代上市以来,安捷伦(即原瓦里安,下同)扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时,会用安捷伦的型号,也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦,要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。
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安捷伦分子泵的特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
真空泵常规性能参数测试抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时,安捷伦对外发布的各项参数和曲线。